Obţinerea straturilor aln pe si prin metoda hvpe şi cercetarea proprietăţilor lor
Închide
Conţinutul numărului revistei
Articolul precedent
Articolul urmator
881 1
Ultima descărcare din IBN:
2020-03-10 16:33
SM ISO690:2012
RAEVSCHI, Simion, DAVÎDOV, Valerii, GORCEAC, Leonid, BOTNARIUC, Vasile, ZHILYAEV, Yurii. Obţinerea straturilor aln pe si prin metoda hvpe şi cercetarea proprietăţilor lor. In: Studia Universitatis Moldaviae (Seria Ştiinţe Reale şi ale Naturii), 2008, nr. 2(12), pp. 217-220. ISSN 1814-3237.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Studia Universitatis Moldaviae (Seria Ştiinţe Reale şi ale Naturii)
Numărul 2(12) / 2008 / ISSN 1814-3237 /ISSNe 1857-498X

Obţinerea straturilor aln pe si prin metoda hvpe şi cercetarea proprietăţilor lor

Pag. 217-220

Raevschi Simion, Davîdov Valerii, Zhilyaev Yurii, Gorceac Leonid, Botnariuc Vasile
 
Universitatea de Stat din Moldova
 
 
Disponibil în IBN: 16 decembrie 2013


Rezumat

AlN layers on Si(111) were fabricated by Hydride Vapor Phase Eptaxy (HVPE). The obtained layers were studied by using Raman spectroscopy and by scanning electron microscope (SEM). The layers surface is structured. The Raman spectra of the layers, obtained at the temperatures of 800-1100oC, are presented. It was established that the layers are mechanically deformed in substrate plane and have a high value of the threshold voltage (are dielectrics).