Отжиг радиационных дефектов в кремнии
Închide
Conţinutul numărului revistei
Articolul precedent
Articolul urmator
642 3
Ultima descărcare din IBN:
2023-03-27 17:19
Căutarea după subiecte
similare conform CZU
621.315.592 (96)
Electrotehnică (1154)
SM ISO690:2012
ГАЙДАР, Г.П.. Отжиг радиационных дефектов в кремнии . In: Электронная обработка материалов, 2012, nr. 1(48), pp. 93-105. ISSN 0013-5739.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Электронная обработка материалов
Numărul 1(48) / 2012 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718

Отжиг радиационных дефектов в кремнии
CZU: 621.315.592

Pag. 93-105

Гайдар Г.П.
 
Институт ядерных исследований НАН Украины
 
 
Disponibil în IBN: 22 martie 2017


Rezumat

Теоретически описан отжиг основных радиационных дефектов в кремнии (А-центров, Е-центров, дивакансий и т. д.) на основе экспериментальных данных, полученных многими авторами; определены параметры, характеризующие этот процесс (энергии активации и частотные факторы), а также предложены различные механизмы и реакции, согласно которым происходят процессы отжига дефектов.

In this paper the annealing of the main radiation defects in silicon (A-centers, E-centers, divacancies, etc.) was theoretically described based on the experimental data obtained by many authors. The parameters characterizing this process (activation energies and frequency factors) have been determined and various mechanisms and reactions, which set conditions for annealing of the defects were also proposed.

Cerif XML Export

<?xml version='1.0' encoding='utf-8'?>
<CERIF xmlns='urn:xmlns:org:eurocris:cerif-1.5-1' xsi:schemaLocation='urn:xmlns:org:eurocris:cerif-1.5-1 http://www.eurocris.org/Uploads/Web%20pages/CERIF-1.5/CERIF_1.5_1.xsd' xmlns:xsi='http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance' release='1.5' date='2012-10-07' sourceDatabase='Output Profile'>
<cfResPubl>
<cfResPublId>ibn-ResPubl-51028</cfResPublId>
<cfResPublDate>2012-02-22</cfResPublDate>
<cfVol>48</cfVol>
<cfIssue>1</cfIssue>
<cfStartPage>93</cfStartPage>
<cfISSN>0013-5739</cfISSN>
<cfURI>https://ibn.idsi.md/ro/vizualizare_articol/51028</cfURI>
<cfTitle cfLangCode='RU' cfTrans='o'>Отжиг радиационных дефектов в кремнии </cfTitle>
<cfAbstr cfLangCode='RU' cfTrans='o'>Теоретически описан отжиг основных радиационных дефектов в кремнии (А-центров, Е-центров, дивакансий и т. д.) на основе экспериментальных данных, полученных многими авторами; определены параметры, характеризующие этот процесс (энергии активации и частотные факторы), а также предложены различные механизмы и реакции, согласно которым происходят процессы отжига дефектов.	</cfAbstr>
<cfAbstr cfLangCode='EN' cfTrans='o'>In this paper the annealing of the main radiation defects in silicon (A-centers, E-centers, divacancies, etc.) was theoretically described based on the experimental data obtained by many authors. The parameters characterizing this process (activation energies and frequency factors) have been determined and various mechanisms and reactions, which set conditions for annealing of the defects were also proposed. </cfAbstr>
<cfResPubl_Class>
<cfClassId>eda2d9e9-34c5-11e1-b86c-0800200c9a66</cfClassId>
<cfClassSchemeId>759af938-34ae-11e1-b86c-0800200c9a66</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2012-02-22T24:00:00</cfStartDate>
</cfResPubl_Class>
<cfResPubl_Class>
<cfClassId>e601872f-4b7e-4d88-929f-7df027b226c9</cfClassId>
<cfClassSchemeId>40e90e2f-446d-460a-98e5-5dce57550c48</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2012-02-22T24:00:00</cfStartDate>
</cfResPubl_Class>
<cfPers_ResPubl>
<cfPersId>ibn-person-34349</cfPersId>
<cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId>
<cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2012-02-22T24:00:00</cfStartDate>
</cfPers_ResPubl>
</cfResPubl>
<cfPers>
<cfPersId>ibn-Pers-34349</cfPersId>
<cfPersName_Pers>
<cfPersNameId>ibn-PersName-34349-1</cfPersNameId>
<cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId>
<cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2012-02-22T24:00:00</cfStartDate>
<cfFamilyNames>Гайдар</cfFamilyNames>
<cfFirstNames>Г.П.</cfFirstNames>
</cfPersName_Pers>
</cfPers>
</CERIF>