Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
219 1 |
Ultima descărcare din IBN: 2023-04-25 10:43 |
Căutarea după subiecte similare conform CZU |
538.911+538.971 (1) |
Fizica materiei condensate. Fizica solidului (349) |
SM ISO690:2012 ЗИКРИЛЛАЕВ, Н., ИСАМОВ, С., КОВЕШНИКОВ, С., КЕНЖАЕВ, З., ТУРЕКЕЕВ, Х.. Совместная диффузия атомов галлия и фосфора в кремнии. In: Электронная обработка материалов, 2022, nr. 4(58), pp. 29-35. ISSN 0013-5739. DOI: https://doi.org/10.52577/eom.2022.58.4.29 |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Электронная обработка материалов | ||||||
Numărul 4(58) / 2022 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718 | ||||||
|
||||||
DOI:https://doi.org/10.52577/eom.2022.58.4.29 | ||||||
CZU: 538.911+538.971 | ||||||
Pag. 29-35 | ||||||
|
||||||
Descarcă PDF | ||||||
Rezumat | ||||||
Установлено, что диффузия атомов галлия и фосфора из газовой фазы в кремний обеспечивает не только компенсацию, но и частичное взаимодействие элементов между собой. Анализ на сканирующем электронном микроскопе показал, что атомы галлия и фосфора присутствуют на поверхности кремния после диффузии и обработки поверхности с близкой концентрацией. Исследование концентрационного распределения носителей заряда по глубине показывает, что при совместной диффузии растворимость галлия увеличивается на один порядок. При этом подвижность носителей заряда уменьшалась в 3÷4 раза. На основе полученных данных рассчитаны концентрация (~ 1019 см-3) нейтральных комплексов [Ga-P+] и их энергия образования (~ 0,62 eV). Полученные результаты могут быть связаны с электростатическим взаимодействием ионов галлия и фосфора при диффузии, из-за которого изменяется концентрационное распределение примесей, а также образуются квазинейтральные комплексы типа [Ga-P+] в решетке кремни |
||||||
Cuvinte-cheie кремний, диффузия, бинарные соединения, подвижность, галлий, фосфор, кристалл, прибор, технология, Температура, Silicon, diffusion, binary compounds, mobility, gallium, phosphorus, Crystal, Device, technology, temperature |
||||||
|