Локализация электрохимической микрообработки при наличии изолирующих масок на анодной поверхности: роль гидродинамики и ионного массопереноса при обработке постоянным током
Închide
Conţinutul numărului revistei
Articolul precedent
Articolul urmator
167 0
SM ISO690:2012
ДИКУСАР, Александр, РЕДКОЗУБОВА, Ольга, ЮЩЕНКО, С., КРИКСУНОВ, Л., ХАРРИС, Д.. Локализация электрохимической микрообработки при наличии изолирующих масок на анодной поверхности: роль гидродинамики и ионного массопереноса при обработке постоянным током. In: Электронная обработка материалов, 2002, nr. 5(38), pp. 4-13. ISSN 0013-5739.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Электронная обработка материалов
Numărul 5(38) / 2002 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718

Локализация электрохимической микрообработки при наличии изолирующих масок на анодной поверхности: роль гидродинамики и ионного массопереноса при обработке постоянным током


Pag. 4-13

Дикусар Александр1, Редкозубова Ольга1, Ющенко С.1, Криксунов Л.2, Харрис Д.2
 
1 Институт прикладной физики АНМ,
2 BMC Industries, Inc.
 
 
Disponibil în IBN: 24 mai 2023


Rezumat

On a basis of results obtained from experimental investigation of distribution of local rates during electrochemical micromachining in presence of photoresist masks under various hydrodynamic conditions (macroscopically non-uniform rotating disk electrode, sprayer, electrode in the cell with chaotic electrolyte mixing) we demonstrated in all three cases under these hydrodynamic conditions maximum localization is reached when the rate of ionic mass-transfer controls the rate of dissolution (when anodic limiting current are achieved). In presence of closed turbulent vortices in the area of undercutting and turbulent flowing round the etch localization increases in comparison with localization provided by geometric parameters of mask (primary current distribution). These conditions (the control of electrochemical reaction by the rate of ionic mass-transfer, the presence of closed turbulent vortices in the area of undercutting) are necessary to develop methods to increase localization by pulse anodic-cathodic machining.