Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
282 4 |
Ultima descărcare din IBN: 2023-08-23 12:11 |
Căutarea după subiecte similare conform CZU |
621.373.8 (16) |
Electrotehnică (1154) |
SM ISO690:2012 АНЯКИН, Н., ЖУК, Р., ПРОЦЕНКО, Е., КОВАЛЕНКО, В., СТЕПУРА, А., ЯО, Д., ЗАНГ, K.. Создание равномерных покрытий импульсным лазерным осаждением. In: Электронная обработка материалов, 2021, nr. 6(57), pp. 25-35. ISSN 0013-5739. DOI: https://doi.org/10.52577/eom.2021.57.6.25 |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Электронная обработка материалов | ||||||
Numărul 6(57) / 2021 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718 | ||||||
|
||||||
DOI:https://doi.org/10.52577/eom.2021.57.6.25 | ||||||
CZU: 621.373.8 | ||||||
Pag. 25-35 | ||||||
|
||||||
Descarcă PDF | ||||||
Rezumat | ||||||
Рассмотрен выбор режимов лазерной обработки, которые позволяют получать тонкие слои напыленного материала равномерной толщины методом импульсного лазерного осаждения. Исследования проводились в атмосфере Ar, в качестве материала для напыления использовали образцы из кремния и карбида кремния. Обработка результатов предварительных экспери-ментов позволила установить связь между яркостью изображения напыленного слоя (при условии его равномерного освещения) и его толщиной. Установлена зависимость толщины напыленного слоя от пространственных координат для различных режимов обработки и с помощью расчетов и выбрана закономерность перемещения заготовки, которая обеспечивает получение напыленных слоев с минимальным отклонением от заданной толщины. На основе результатов технология лазерного осаждения использовалась для создания покрытия на заготовке большой площади. |
||||||
Cuvinte-cheie лазер, лазерная технология, импульсное лазерное осаждение, оптимизация, laser, laser technology, Pulsed laser deposition, optimization of technological processes |
||||||
|