Электрохимическая размерная обработка: от макро- к микро- и нанообработке.
Închide
Articolul precedent
Articolul urmator
217 4
Ultima descărcare din IBN:
2022-11-22 13:42
SM ISO690:2012
ДИКУСАР, Александр. Электрохимическая размерная обработка: от макро- к микро- и нанообработке.. In: Materials Science and Condensed Matter Physics, 13-17 septembrie 2010, Chișinău. Chișinău, Republica Moldova: Institutul de Fizică Aplicată, 2010, Editia 5, p. 236.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Materials Science and Condensed Matter Physics
Editia 5, 2010
Conferința "Materials Science and Condensed Matter Physics"
Chișinău, Moldova, 13-17 septembrie 2010

Электрохимическая размерная обработка: от макро- к микро- и нанообработке.


Pag. 236-236

Дикусар Александр
 
Институт прикладной физики
 
 
Disponibil în IBN: 21 aprilie 2021


Rezumat

В докладе приводится обзор развития электрохимической размерной обработки (ЭХРО), основанной как на явлениях анодного растворения, так и катодного осаждения (на примере исследований, выполненных в Институте прикладной физики АНМ и инициированных академиком Б.Р.Лазаренко). Показано, что помимо специфики развития как процесса электрохимической технологии и технологии обработки металлов, ЭХРО имеет свою внутреннюю логику развития: определение специфики взаимосвязи между фундаментальными характеристиками кинетики электрохимического процесса и свойствами получаемой поверхности при переходе от макро- к микро- и нанообработке. Показано, что ответ на вопрос, поставленный в конце 60-х годов прошлого века: имеются какие-либо специфические особенности высокоскоростных электродных процессов, лежащих в основе ЭХРО, был получен на основе исследований, выполненных в ИПФ АНМ. Это явление взаимного влияния кинетики электродного процесса и процессов теплопереноса, проявляющиеся, в частности, в термокинетической неустойчивости (ТКН) электрохимического процесса. Обсуждаются эффекты влияния ТКН на скорость процесса удаления материала и его локализацию. Показана взаимосвязь между термокинетическими, электрохимическими и термофлуктационными процессами разрушения твердых тел. Рассмотрены особенности различных вариантов электрохимической размерной микрообработки: обработки тонкослойных покрытий в электролитах, используемых для ЭХРО, размерной (анодной) обработки с частичной изоляцией анодной поверхности изолирующими масками, электрохимической микрообработки с получением высоких безразмерных значений AR (aspect ratio). Показана взаимосвязь между кинетическими особенностями анодного растворения и качеством поверхности хромовых и кобальт-вольфрамовых упрочняющих покрытий. Рассмотрен эффект резкого снижения микротвердости поверхности после растворения в условиях ТКН. Исследованы условия влияния эффектов ионного массопереноса на микро- и макрораспределение скоростей травления, в том числе локализацию поверхности в условиях микрообработки при наличии изолирующих слоев на анодной поверхности. Рассмотрены эффекты взаимного влияния микро-и макрораспределения скоростей травления в условиях микрообработки при наличии изолирующих слоев. Показаны возможности импульсной электрохимической размерной микрообработки обработки как метода повышения локализации травления и уменьшения подтравливания под изоляцию. Представлены результаты исследований трех вариантов наноэлектрохимической размерной обработки: анодного травления полупроводниковых материалов на основе материалов А3В5 и кинетики заполнения пор в таких материалах, электрохимического темплатного синтеза с получением ансамбля нанопроводов (нанокомпозитов) и электрохимического (катодного) получения нанокристалличеких покрытий. Рассмотрены условия управления скоростями осаждения в нанопористые слои, полученные анодным травлением, а также непроводящие мембраны из Al2O3. Показаны возможности размерного электроосаждения использованием импульсных режимов с целью увеличения скорости осаждения. Установлено (на примере электрохимического импульсного темплатного синтеза), что применение импульсных режимов имеет ограничения, обусловленные коррозией наноматериала в период паузы, которая имеет размерный эффект. Обсуждаются проблемы получения нанокристаллических покрытий на основе сплавов металлов группы железа с тугоплавкими металлами в качестве альтернативы электролитическому хромированию поверхностей. Установлена взаимосвязь состава, структуры (степени “нанокристалличности”) механических и коррозионных (микро- и нанотвердости, износостойкости и коррозионной стойкости) свойств получаемых покрытий. Представлены результаты влияния термообработки на структуру получаемых слоев. Показана роль эффектов ионного массоперноса в формировании поверхности определенного состава и структуры, а также микро- и макрораспределения состава, структуры и свойств поверхности.

Cerif XML Export

<?xml version='1.0' encoding='utf-8'?>
<CERIF xmlns='urn:xmlns:org:eurocris:cerif-1.5-1' xsi:schemaLocation='urn:xmlns:org:eurocris:cerif-1.5-1 http://www.eurocris.org/Uploads/Web%20pages/CERIF-1.5/CERIF_1.5_1.xsd' xmlns:xsi='http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance' release='1.5' date='2012-10-07' sourceDatabase='Output Profile'>
<cfResPubl>
<cfResPublId>ibn-ResPubl-127945</cfResPublId>
<cfResPublDate>2010</cfResPublDate>
<cfVol>Editia 5</cfVol>
<cfStartPage>236</cfStartPage>
<cfISBN></cfISBN>
<cfURI>https://ibn.idsi.md/ro/vizualizare_articol/127945</cfURI>
<cfTitle cfLangCode='RU' cfTrans='o'>Электрохимическая размерная обработка: от макро- к микро- и нанообработке.</cfTitle>
<cfAbstr cfLangCode='RU' cfTrans='o'><p>В докладе приводится обзор развития электрохимической размерной обработки (ЭХРО), основанной как на явлениях анодного растворения, так и катодного осаждения (на примере исследований, выполненных в Институте прикладной физики АНМ и инициированных академиком Б.Р.Лазаренко). Показано, что помимо специфики развития как процесса электрохимической технологии и технологии обработки металлов, ЭХРО имеет свою внутреннюю логику развития: определение специфики взаимосвязи между фундаментальными характеристиками кинетики электрохимического процесса и свойствами получаемой поверхности при переходе от макро- к микро- и нанообработке. Показано, что ответ на вопрос, поставленный в конце 60-х годов прошлого века: имеются какие-либо специфические особенности высокоскоростных электродных процессов, лежащих в основе ЭХРО, был получен на основе исследований, выполненных в ИПФ АНМ. Это явление взаимного влияния кинетики электродного процесса и процессов теплопереноса, проявляющиеся, в частности, в термокинетической неустойчивости (ТКН) электрохимического процесса. Обсуждаются эффекты влияния ТКН на скорость процесса удаления материала и его локализацию. Показана взаимосвязь между термокинетическими, электрохимическими и термофлуктационными процессами разрушения твердых тел. Рассмотрены особенности различных вариантов электрохимической размерной микрообработки: обработки тонкослойных покрытий в электролитах, используемых для ЭХРО, размерной (анодной) обработки с частичной изоляцией анодной поверхности изолирующими масками, электрохимической микрообработки с получением высоких безразмерных значений AR (aspect ratio). Показана взаимосвязь между кинетическими особенностями анодного растворения и качеством поверхности хромовых и кобальт-вольфрамовых упрочняющих покрытий. Рассмотрен эффект резкого снижения микротвердости поверхности после растворения в условиях ТКН. Исследованы условия влияния эффектов ионного массопереноса на микро- и макрораспределение скоростей травления, в том числе локализацию поверхности в условиях микрообработки при наличии изолирующих слоев на анодной поверхности. Рассмотрены эффекты взаимного влияния микро-и макрораспределения скоростей травления в условиях микрообработки при наличии изолирующих слоев. Показаны возможности импульсной электрохимической размерной микрообработки обработки как метода повышения локализации травления и уменьшения подтравливания под изоляцию. Представлены результаты исследований трех вариантов наноэлектрохимической размерной обработки: анодного травления полупроводниковых материалов на основе материалов А3В5 и кинетики заполнения пор в таких материалах, электрохимического темплатного синтеза с получением ансамбля нанопроводов (нанокомпозитов) и электрохимического (катодного) получения нанокристалличеких покрытий. Рассмотрены условия управления скоростями осаждения в нанопористые слои, полученные анодным травлением, а также непроводящие мембраны из Al2O3. Показаны возможности размерного электроосаждения использованием импульсных режимов с целью увеличения скорости осаждения. Установлено (на примере электрохимического импульсного темплатного синтеза), что применение импульсных режимов имеет ограничения, обусловленные коррозией наноматериала в период паузы, которая имеет размерный эффект. Обсуждаются проблемы получения нанокристаллических покрытий на основе сплавов металлов группы железа с тугоплавкими металлами в качестве альтернативы электролитическому хромированию поверхностей. Установлена взаимосвязь состава, структуры (степени &ldquo;нанокристалличности&rdquo;) механических и коррозионных (микро- и нанотвердости, износостойкости и коррозионной стойкости) свойств получаемых покрытий. Представлены результаты влияния термообработки на структуру получаемых слоев. Показана роль эффектов ионного массоперноса в формировании поверхности определенного состава и структуры, а также микро- и макрораспределения состава, структуры и свойств поверхности.</p></cfAbstr>
<cfResPubl_Class>
<cfClassId>eda2d9e9-34c5-11e1-b86c-0800200c9a66</cfClassId>
<cfClassSchemeId>759af938-34ae-11e1-b86c-0800200c9a66</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2010T24:00:00</cfStartDate>
</cfResPubl_Class>
<cfResPubl_Class>
<cfClassId>e601872f-4b7e-4d88-929f-7df027b226c9</cfClassId>
<cfClassSchemeId>40e90e2f-446d-460a-98e5-5dce57550c48</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2010T24:00:00</cfStartDate>
</cfResPubl_Class>
<cfPers_ResPubl>
<cfPersId>ibn-person-182</cfPersId>
<cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId>
<cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2010T24:00:00</cfStartDate>
</cfPers_ResPubl>
</cfResPubl>
<cfPers>
<cfPersId>ibn-Pers-182</cfPersId>
<cfPersName_Pers>
<cfPersNameId>ibn-PersName-182-1</cfPersNameId>
<cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId>
<cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId>
<cfStartDate>2010T24:00:00</cfStartDate>
<cfFamilyNames>Dikusar</cfFamilyNames>
<cfFirstNames>Aleksandr </cfFirstNames>
<cfFamilyNames>Дикусар</cfFamilyNames>
<cfFirstNames>Александр</cfFirstNames>
</cfPersName_Pers>
</cfPers>
</CERIF>