Расчет элементного состава тонкопленочных слоев при магнетронном распылении мозаичных мишеней |
Golosov Dmitrii , Melnikov S , Dostanko Anatolii |
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
Электронная обработка материалов |
Nr. 1(48) / 2012 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718 |
Disponibil online 21 March, 2017. Descarcări-0. Vizualizări-990 |