IBN
Închide
Bordusov S.
Dinamica numărului de publicaţii pe ani
Dinamica articolelor pe ani
Distribuirea numărului de pagini publicate pe categorii de reviste și ani
Distribuirea articolelor pe domenii şi ani
Colaborarea autorului
Dinamica descărcărilor pe ani

Articole în reviste din RM - 7.
Publicații indexate în SCOPUS - 7.
XLS PDF DOC
SM ISO690:2012
DOC
ISO 690:2012Clasificate
  • 3.1.5.Articole în reviste științifice din RM (până în 2009) - 7

2002 - 3

Влияние на фоторезистивный материал СВЧ плазмохимической обработки
Бордусов С.1 , Зубарева М.2 , Сушко Н.3
1 Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники,
2 Институт молекулярной и атомной физики НАНБ,
3 Институт физики им. Б.И.Степанова НАНБ
Электронная обработка материалов
Nr. 5(38) / 2002 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718
Disponibil online 24 May, 2023. Descarcări-0. Vizualizări-116
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Классификация свч плазмотронов для производства изделий электронной техники
Бордусов С.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Электронная обработка материалов
Nr. 1(38) / 2002 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718
Disponibil online 22 May, 2023. Descarcări-0. Vizualizări-167
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Характеристики процесса ионно-химического травления монокристаллического кремния плазмой комбинированного разряда
Бордусов С.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Электронная обработка материалов
Nr. 6(38) / 2002 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718
Disponibil online 25 May, 2023. Descarcări-1. Vizualizări-106
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

2001 - 4

Высокоскоростное удаление фоторезистивных пленок в послесвечении свч разряда в кислороде
Бордусов С.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Электронная обработка материалов
Nr. 6(37) / 2001 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718
Disponibil online 29 May, 2023. Descarcări-3. Vizualizări-156
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Диагностика удаления фоторезиста с поверхности подложек интегральных схем плазмой свч-разряда в кислороде с использованием оптической спектроскопии процесса
Бордусов С.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Электронная обработка материалов
Nr. 2(37) / 2001 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718
Disponibil online 25 May, 2023. Descarcări-1. Vizualizări-192
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
Малогабаритная СВЧ-плазменная установка с резонатором прямоугольной формы
Бордусов С.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Электронная обработка материалов
Nr. 1(37) / 2001 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718
Disponibil online 25 May, 2023. Descarcări-0. Vizualizări-123
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии
Бордусов С.
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Электронная обработка материалов
Nr. 3(37) / 2001 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718
Disponibil online 26 May, 2023. Descarcări-0. Vizualizări-144
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
1 - 7 of 7