Cuvinte-cheie (8): microprocessing (1), semiconductor
substrates (1), полупроводниковые подложки (1)
Articole în reviste din RM - 1.
Publicații indexate în SCOPUS - 1.
- 3. Articole în reviste din RM
- 3.1. Articole în reviste științifice din RM (perioada în care au avut categorie de clasificare + 2 numere până la aprobarea statutului de publicație științifică)
- 3.1.4.Articole în reviste de cat. C - 1
Формирование отверстий в полупроводниковых материалах лазерной икрообработкой |
Ланин В.1 , Петухов И.2 , Ретюхин Г.2 |
1 Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 2 ОАО «Планар-СО» |
Электронная обработка материалов |
Nr. 6(58) / 2022 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718 |
Disponibil online 27 December, 2022. Descarcări-4. Vizualizări-270 |