| Articolul precedent |
| Articolul urmator |
 |
 93 0 |
 SM ISO690:2012CORDUNEANU, Alexandru. Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu. In: Microelectronics and Computer Science: The 6th International Conference, Ed. 6, 1-3 octombrie 2009, Chisinau. Bălți, Republica Moldova: Universitatea de Stat „Alecu Russo" din Bălţi, 2009, Ediţia 6, pp. 203-205. ISBN 978-9975-45-122-2. |
| EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
| Microelectronics and Computer Science Ediţia 6, 2009 |
||||||
|
Conferința "Microelectronics and Computer Science" 6, Chisinau, Moldova, 1-3 octombrie 2009 | ||||||
|
||||||
| Pag. 203-205 | ||||||
|
||||||
 Descarcă PDF |
||||||
| Rezumat | ||||||
În prezenta lucrare se demonstrează aplicabilitatea litografiei cu sarcina de suprafaţă la arseniura de galiu. Folosind metodologia acestei tehnologii pentru nitrura de galiu s-au obţinut mezastructuri de GaAs cu pereţi bine conturaţi cu înalţime de pînă la 10 micrometri . |
||||||
| Cuvinte-cheie Nanostructurare, arseniura de galiu (GaAs), corodare fotoelectrochimică |
||||||
|
|
|
|
