Sistem de control automat a parametrilor stratului epitaxial din GaAs
Close
Articolul precedent
Articolul urmator
93 0
SM ISO690:2012
CERCEL, Arcadie, IZVOREANU, Bartolomeu, FIODOROV, Ion, BARANOV, Simion. Sistem de control automat a parametrilor stratului epitaxial din GaAs. In: Microelectronics and Computer Science: The 6th International Conference, Ed. 6, 1-3 octombrie 2009, Chisinau. Bălți, Republica Moldova: Universitatea de Stat „Alecu Russo" din Bălţi, 2009, Ediţia 6, pp. 382-385. ISBN 978-9975-45-122-2.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Microelectronics and Computer Science
Ediţia 6, 2009
Conferința "Microelectronics and Computer Science"
6, Chisinau, Moldova, 1-3 octombrie 2009

Sistem de control automat a parametrilor stratului epitaxial din GaAs


Pag. 382-385

Cercel Arcadie1, Izvoreanu Bartolomeu1, Fiodorov Ion1, Baranov Simion2
 
1 Universitatea Tehnică a Moldovei,
2 Centrul Ştiinţific şi Inginerie „Informinstrument“
 
 
Disponibil în IBN: 14 iulie 2023


Rezumat

În lucrarea de faţă se prezintă un dispozitiv de comandă şi achiziţie de date pentru aparatul de măsură E7-12, ce permite racordarea acestuia la calculatorul personal. Scopul urmărit a fost automatizarea măsurărilor necesare pentru determinarea parametrilor stratului epitaxial din arseniură de galiu. Obţinerea parametrilor stratului epitaxial se face prin metoda volt-faradică. Dispozitivul setează tensiunea de polarizare cu pasul 0.1 V în intervalul 0-1 V şi cu pasul 1 V în intervalul 1-40 V. Pentru fiecare din aceste valori ale tensiunii, dispozitivul va cere de la aparatul de măsură valoarea capacităţii C şi a tangentei unghiului de pierderi D. Aceste valori vor fi trimise în calculator, va fi construită caracteristica volt-faradică şi vor fi determinaţi parametrii stratului epitaxial: concentraţia purtătorilor de sarcină, grosimea stratului, tensiunea de străpungere. Pentru a putea comunica cu aparatul de măsură a fost necesară implementarea protocolului GPIB (General Purpose Interface Bus). La baza dispozitivului proiectat se află un microcontrolor AVR – Atmega8.

Cuvinte-cheie
automatizarea măsurărilor, aparat de măsură E7-12, metoda volt-faradică, protocolul GPIB (IEEE-488), parametrii stratului epitaxial