Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца
Close
Articolul precedent
Articolul urmator
288 2
Ultima descărcare din IBN:
2023-05-13 14:27
SM ISO690:2012
ЧЕРНЯВСКИЙ, Антон, GRAMOVICI, Ludmila. Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца. In: Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor, 29-31 martie 2022, Chișinău. Chișinău, Republica Moldova: Tehnica-UTM, 2022, Vol.1, pp. 261-264. ISBN 978-9975-45-828-3..
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor
Vol.1, 2022
Conferința "Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor"
Chișinău, Moldova, 29-31 martie 2022

Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца


Pag. 261-264

Чернявский Антон, Gramovici Ludmila
 
Технический Университет Молдовы
 
Proiecte:
 
Disponibil în IBN: 25 iulie 2022


Rezumat

В данной статье рассматривается способ создания имитационной модели электрического травления путем конструирования специально разработанных масок с помощью движка Unity. В зависимости от нанесенной маски можно предугадать рост пор, согласно данным полученным в результате исследований и проведения практических экспериментов. В конечном итоге разработка моделирования роста пор при использовании фотолитографических масок разных форм позволит сократить число экспериментальных экспериментов.

Cuvinte-cheie
электрохимия, поры, нанотехнология, маска, фоторезист, движок Unity.

DataCite XML Export

<?xml version='1.0' encoding='utf-8'?>
<resource xmlns:xsi='http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance' xmlns='http://datacite.org/schema/kernel-3' xsi:schemaLocation='http://datacite.org/schema/kernel-3 http://schema.datacite.org/meta/kernel-3/metadata.xsd'>
<creators>
<creator>
<creatorName>Cerneavschii, A.</creatorName>
<affiliation>Universitatea Tehnică a Moldovei, Moldova, Republica</affiliation>
</creator>
<creator>
<creatorName>Gramovici, L.</creatorName>
<affiliation>Universitatea Tehnică a Moldovei, Moldova, Republica</affiliation>
</creator>
</creators>
<titles>
<title xml:lang='ru'>Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца</title>
</titles>
<publisher>Instrumentul Bibliometric National</publisher>
<publicationYear>2022</publicationYear>
<relatedIdentifier relatedIdentifierType='ISBN' relationType='IsPartOf'>978-9975-45-828-3.</relatedIdentifier>
<subjects>
<subject>электрохимия</subject>
<subject>поры</subject>
<subject>нанотехнология</subject>
<subject>маска</subject>
<subject>фоторезист</subject>
<subject>движок Unity.</subject>
</subjects>
<dates>
<date dateType='Issued'>2022</date>
</dates>
<resourceType resourceTypeGeneral='Text'>Conference Paper</resourceType>
<descriptions>
<description xml:lang='ru' descriptionType='Abstract'><p>В данной статье рассматривается способ создания имитационной модели электрического травления путем конструирования специально разработанных масок с помощью движка Unity. В зависимости от нанесенной маски можно предугадать рост пор, согласно данным полученным в результате исследований и проведения практических экспериментов. В конечном итоге разработка моделирования роста пор при использовании фотолитографических масок разных форм позволит сократить число экспериментальных экспериментов.</p></description>
</descriptions>
<formats>
<format>application/pdf</format>
</formats>
</resource>