În lucrarea dată se cercetează influența vaporilor de apă asupra proprietăților senzorice ale peliculelor nanostructurate de oxid de zinc dopate cu fier (ZnO:Fe). Peliculele nanostructurate au fost depuse pe substrat de sticlă prin metoda sintezei din soluții chimice (SCS) apoase la temperaturi relativ joase (90 95 ºC). Structurile senzor în baza ZnO:Fe cu grosimea de ~ 1.2 μm au fost expuse la 100 ppm de vapori de etanol la diferite valori a umidității relative (RH) de ~ 30% și ~ 70%, pentru a studia influența vaporilor de apă asupra răspunsului în dependență de temperatura de operare. Rezultatele au demonstrat scăderea răspunsului la valori mai mari ale RH în special la temperaturi de operare ridicate (> 300 ºC), demonstrînd necesitatea de elaborare a metodelor de protecție sau inhibare a influenței vaporilor de apă asupra valorii răspunsului, ceea ce este important pentru aplicații practice.