Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
![]() |
![]() ![]() |
Ultima descărcare din IBN: 2024-02-19 14:51 |
Căutarea după subiecte similare conform CZU |
621.793.14 (1) |
Mechanical technology in general: processes, tools, machines, equipment (146) |
![]() АГЕЕВ, O., DOSTANKO, Anatolii, ДЖУПЛИН, В., GOLOSOV, Dmitrii, ЗАМБУРГ, E., ВАКУЛОВ, Д., АЛЕКСЕЕВ, A., ВАКУЛОВ, З., ЗАВАДСКИЙ, С.. Исследование влияния ионной стимуляции при импульсном лазерном осаждении на свойства нанокристаллических пленок оксида цинка. In: Электронная обработка материалов, 2014, nr. 5(50), pp. 1-6. ISSN 0013-5739. |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Электронная обработка материалов | ||||||
Numărul 5(50) / 2014 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718 | ||||||
|
||||||
CZU: 621.793.14 | ||||||
Pag. 1-6 | ||||||
|
||||||
![]() |
||||||
Rezumat | ||||||
Нанокристаллические пленки ZnO были сформированы методом ионно-стимулированного импульсного лазерного осаждения. Исследовано влияние значения соотношения ион/атом на структурные, морфологические и электрофизические параметры нанокристаллических пленок ZnO. Установлено, что при ионном воздействии на тонкие нанокристаллические пленки ZnO существенно изменяются их кристаллическое строение и электрофизические свойства. Показано, что режимами ионной стимуляции возможно контролировать средний диаметр зерен в диапазоне от 75,4 ± 2,0 до 79,1 ± 2,0 нм, шероховатость поверхности в диапазоне от 2,14 ± 1,11 до 7,30 ± 1,25 нм, а также удельное сопротивление и подвижность в диапазоне от (22,6 ± 2)×10-4 до (33,6 ± 2)×10-4 Ом·см и от 28,21 ± 4,60 до 71,92 ± 2,50 см2/(В·с) соответственно. |
||||||
Cuvinte-cheie нанотехнологии, оксид цинка, импульсное лазерное осаждение, нанокристаллические пленки, ионная стимуляция, соотношение ион/атом, атомно-силовая микроскопия, электрофизические свойства |
||||||
|
Cerif XML Export
<?xml version='1.0' encoding='utf-8'?> <CERIF xmlns='urn:xmlns:org:eurocris:cerif-1.5-1' xsi:schemaLocation='urn:xmlns:org:eurocris:cerif-1.5-1 http://www.eurocris.org/Uploads/Web%20pages/CERIF-1.5/CERIF_1.5_1.xsd' xmlns:xsi='http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance' release='1.5' date='2012-10-07' sourceDatabase='Output Profile'> <cfResPubl> <cfResPublId>ibn-ResPubl-41044</cfResPublId> <cfResPublDate>2014-10-29</cfResPublDate> <cfVol>50</cfVol> <cfIssue>5</cfIssue> <cfStartPage>1</cfStartPage> <cfISSN>0013-5739</cfISSN> <cfURI>https://ibn.idsi.md/ro/vizualizare_articol/41044</cfURI> <cfTitle cfLangCode='RU' cfTrans='o'>Исследование влияния ионной стимуляции при импульсном лазерном осаждении на свойства нанокристаллических пленок оксида цинка</cfTitle> <cfKeyw cfLangCode='RU' cfTrans='o'>нанотехнологии; нанокристаллические пленки; оксид цинка; импульсное лазерное осаждение; ионная стимуляция; соотношение ион/атом; атомно-силовая микроскопия; электрофизические свойства</cfKeyw> <cfAbstr cfLangCode='RU' cfTrans='o'>Нанокристаллические пленки ZnO были сформированы методом ионно-стимулированного импульсного лазерного осаждения. Исследовано влияние значения соотношения ион/атом на структурные, морфологические и электрофизические параметры нанокристаллических пленок ZnO. Установлено, что при ионном воздействии на тонкие нанокристаллические пленки ZnO существенно изменяются их кристаллическое строение и электрофизические свойства. Показано, что режимами ионной стимуляции возможно контролировать средний диаметр зерен в диапазоне от 75,4 ± 2,0 до 79,1 ± 2,0 нм, шероховатость поверхности в диапазоне от 2,14 ± 1,11 до 7,30 ± 1,25 нм, а также удельное сопротивление и подвижность в диапазоне от (22,6 ± 2)×10-4 до (33,6 ± 2)×10-4 Ом·см и от 28,21 ± 4,60 до 71,92 ± 2,50 см2/(В·с) соответственно. </cfAbstr> <cfAbstr cfLangCode='EN' cfTrans='o'>Nanocrystalline thin films of ZnO have been fabricated by the ion-stimulated deposition assisted by the pulsed laser. The influence of the ion/atom ratio on the structural, morphological and electrical parameters of these films is considered. It is established that in case of an ion action on thin films their structure and electrical properties are significantly changed. It is demonstrated that modes of the ion beam-assisted stimulation can have an effect on: an average grain size ranging from 75.4±2.0 nm to 79.1±2.0 nm, roughness in the range from 2.147±1.115 nm to 7.301±1.251 nm as well as resistivity and mobility in the range from (22.6±2)×10-4 Ohm·cm to (33.6±2)×10-4 Ohm·cm and from 28.21±4.60 cm2/V·s to 71.92±2.50 cm2/V·s, respectively. </cfAbstr> <cfResPubl_Class> <cfClassId>eda2d9e9-34c5-11e1-b86c-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>759af938-34ae-11e1-b86c-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfResPubl_Class> <cfResPubl_Class> <cfClassId>e601872f-4b7e-4d88-929f-7df027b226c9</cfClassId> <cfClassSchemeId>40e90e2f-446d-460a-98e5-5dce57550c48</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfResPubl_Class> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-50846</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-33929</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-50850</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-33927</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-50847</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-50848</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-50852</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-50849</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> <cfPers_ResPubl> <cfPersId>ibn-person-50851</cfPersId> <cfClassId>49815870-1cfe-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassId> <cfClassSchemeId>b7135ad0-1d00-11e1-8bc2-0800200c9a66</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> </cfPers_ResPubl> </cfResPubl> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-50846</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-50846-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Агеев</cfFamilyNames> <cfFirstNames>O.</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-33929</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-33929-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Dostanko</cfFamilyNames> <cfFirstNames>Anatolii</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-50850</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-50850-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Джуплин</cfFamilyNames> <cfFirstNames>В.</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-33927</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-33927-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Golosov</cfFamilyNames> <cfFirstNames>Dmitrii</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-50847</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-50847-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Замбург</cfFamilyNames> <cfFirstNames>E.</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-50848</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-50848-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Вакулов</cfFamilyNames> <cfFirstNames>Д.</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-50852</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-50852-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Алексеев</cfFamilyNames> <cfFirstNames>A.</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-50849</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-50849-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Вакулов</cfFamilyNames> <cfFirstNames>З.</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> <cfPers> <cfPersId>ibn-Pers-50851</cfPersId> <cfPersName_Pers> <cfPersNameId>ibn-PersName-50851-1</cfPersNameId> <cfClassId>55f90543-d631-42eb-8d47-d8d9266cbb26</cfClassId> <cfClassSchemeId>7375609d-cfa6-45ce-a803-75de69abe21f</cfClassSchemeId> <cfStartDate>2014-10-29T24:00:00</cfStartDate> <cfFamilyNames>Завадский</cfFamilyNames> <cfFirstNames>С.</cfFirstNames> </cfPersName_Pers> </cfPers> </CERIF>