În lucrare sînt prezentate principiile de elaborare a unui laser compact cu excimer şi rezultatele cercetărilor experimentale ale influenţei furnizorilor de halogen şi ale raportului componenţilor mediului activ asupra parametrilor energetici ai laserului cu XeCl. În calitate de furnizori de halogen au fost utilizaţi următorii compuşi: HCl; CHCl3; CCl4. Experimental, a fost stabilit raportul optimal al componenţilor mixturii şi energia maximală în impuls pentru fiecare furnizor de halogen: HCl:Xe:He – 5:10:400 - 22mJ; CHCl3:Xe:He -1:10:1000 - 10 mJ; CCl4:Xe:He - 1:10:1000 - 5 mJ.

In this work are represented some principles of elaboration of a compact excimer XeCl laser and the results of the experimental research of dependence of energetic parameters of the laser on the correlation of the components of active area for the different donators. In quality of donator, the halogen was used in the following materials: HCl; CHCl3; CCl4. Experimentally were determined some optimum correlations of the components of the active area and the maximum energy in pulse for every donator of halogen: HCl:Xe:He - 5:10:400 – 22 mJ; CHCl3: Xe:He - 1:10:1000 – 10 mJ; CCl4:Xe:He - 1:10:1000 – 5 mJ.