Modernizarea și automatizarea instalației de tratare termică utilizată în procesul de litografie optică
Закрыть
Articolul precedent
Articolul urmator
216 6
Ultima descărcare din IBN:
2024-06-20 16:02
Căutarea după subiecte
similare conform CZU
776 (58)
Фотография и подобные процессы (64)
SM ISO690:2012
CHIRIAC, Maxim. Modernizarea și automatizarea instalației de tratare termică utilizată în procesul de litografie optică. In: Interuniversitaria, Ed. 19, 4 mai 2023, Bălți. Bălți, Republica Moldova: Universitatea de Stat „Alecu Russo" din Bălţi, 2023, Ediția 19, Vol.2, pp. 115-119. ISBN 978-9975-50-303-7..
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Interuniversitaria
Ediția 19, Vol.2, 2023
Conferința "Interuniversitaria"
19, Bălți, Moldova, 4 mai 2023

Modernizarea și automatizarea instalației de tratare termică utilizată în procesul de litografie optică

CZU: 776

Pag. 115-119

Chiriac Maxim
 
Universitatea Tehnică a Moldovei
 
 
Disponibil în IBN: 21 august 2023


Rezumat

The paper describes the concept of the proposed device and the necessary modules for digitizing the existing installation. The possibilities offered by the device are also described. The basic difference between the described device and the existing one is the more advanced level of digitization and the reduced energy consumption required for the technological process for which it is intended.

Cuvinte-cheie
Lithography, automation, microelectronics, integrated circuits, thermal treatment