Afiliat la Ташкентский государственный технический университет имени А.Р.Беруни

2004 - 2

Исследование кинетики роста двуокиси кремния с учетом первичного взаимодействия кислорода с поверхностью полупроводника

Safarov A. , Şukurova D. , Ikromov A.

Электронная обработка материалов

Nr. 2(40) / 2004 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718

Disponibil online 17 April, 2023

-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

Взаимодействие кислорода с поверхностью кремния

Safarov A. , Abdullaev B. , Şukurova D.

Электронная обработка материалов

Nr. 1(40) / 2004 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718

Disponibil online 10 April, 2023

-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

2003 - 2

Проблемы получения оксида на кремнии

Safarov A. , Şukurova D. , Ikramov A. , Arslanova T.

Электронная обработка материалов

Nr. 4(39) / 2003 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718

Disponibil online 12 May, 2023

-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

Исследование механизма образования и скорости изменения неравновесных точечных дефектов в процессе окисления кремния

Safarov A. , Şukurova D. , Ikramov A. , Arslanova T.

Электронная обработка материалов

Nr. 6(39) / 2003 / ISSN 0013-5739 / ISSNe 2345-1718

Disponibil online 14 May, 2023

-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

10203040501005001000