Спектрофотометрическое определение показателя преломления тонких халькогенидных стеклообразных полупроводниковых пленок
Închide
Articolul precedent
Articolul urmator
188 0
SM ISO690:2012
IASENIUC, Oxana, МЕШАЛКИН, А.Ю.. Спектрофотометрическое определение показателя преломления тонких халькогенидных стеклообразных полупроводниковых пленок. In: International Conference of Young Researchers , 6-7 noiembrie 2008, Chişinău. Chişinău: Tipogr. Simbol-NP SRL, 2008, Ediția 6, p. 132. ISBN 978-9975-70-769-5.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
International Conference of Young Researchers
Ediția 6, 2008
Conferința "International Conference of Young Researchers "
Chişinău, Moldova, 6-7 noiembrie 2008

Спектрофотометрическое определение показателя преломления тонких халькогенидных стеклообразных полупроводниковых пленок


Pag. 132-132

Iaseniuc Oxana, Мешалкин А.Ю.
 
Институт прикладной физики
 
 
Disponibil în IBN: 25 mai 2021


Rezumat

Халькогенидные стеклообразные полупроводники (ХСП) представляют большой интерес для оптоэлектроники, в частности для использования в качестве регистрирующей среды. Сульфид мышьяка As2S3 является одним из типичных представителей ХСП. Одним из его преимуществ является прозрачность в ИК области, фоточувствительность к свету с λ<500нм, достаточно высокое изменение показателя преломление (n=0,01-0,1) вследствие засветки. Важное значение для применения в оптоэлектронике, в частности, в качестве регистрирующей среды, имеет точное определение коэффициента преломления пленок сульфида мышьяка, а также его изменения под действием актиничного излучения. Для определения оптических констант тонких пленок наибольшее распространение получили поляризационный и спектрофотометрический (интерференционный) методы анализа. Спектрофотометрический является наиболее простым и доступным методом для данного определения оптических констант. Спектрофотометрический метод может быть эффективно использован для определения оптических констант разнообразных полупроводниковых тонких пленок при работе на двухлучевых спектрофотометрах. Данный метод позволяет определить показатель преломления тонкого слоя As2S3, нанесенного методом вакуумного напыления на толстую, прозрачную, стеклянную подложку из спектра пропускания, измеренного с помощью двухлучевого спектрофотометра УФ-ВИД Specord M-40. В ходе работы были определены: показатель преломления тонких пленок сульфида мышьяка толщиной около d=1 мкм и показатель преломления чистой подложки. Для определения значения показателя преломления исследуемого материала были измерены коэффициент пропускания (Т0%) чистой подложки и коэффициент пропускания этой подложки покрытой слоем As2S3 (Т). Зная спектральную зависимость Т0, определили показатель преломления подложки по формуле:formulaгде n0- показатель преломления подложки. Зная спектральную зависимость Т и n0, нашли n (показателя преломления As2S3) по формуле:formulaгде Тm – минимум спектра пропускания. Показано, что данный метод может быть использован для определения показателя преломления п/п тонких пленок с достаточно высокой точностью, зависящей от точности определения коэффициента пропускания (Т%).

Cuvinte-cheie
халькогенидные стеклообразные полупроводники, показатель преломления, спектры пропускания