Традиционно электрохимическая размерная обработка применяется для получения достаточно массивных деталей из труднообрабатываемых механическими методами металлов и сплавов. В последнее время все больше внимания уделяется использованию электрохимического способа для микрообработки при изготовлении деталей или формирования малоразмерных элементов на них [1]. Например, при изготовлении аэродинамических занижений удаление материала осуществляется на глубину не более нескольких десятков микрометров. При этом одновременно формируется большое количество однотипных элементов, размеры которых должны быть тождественны. Дополнительным осложнением при изготовлении элементов с малой глубиной является малое время обработки, что может быть причиной увеличенного разброса размеров. Формирование определенной совокупности одинаковых элементов может быть осуществлено с использованием различных технологических схем: последовательным изготовлением элементов с применением единичного электрода-инструмента и делительного устройства; с применением налагаемых на обрабатываемую поверхность изолирующих масок (шаблонов); с применением наборного катода-инструмента, собираемого из отдельных малых электродов. Одинаково важное значение имеет и организация потока электролита в рабочей электрохимической ячейке. Определенными преимуществами обладает схема с щелевой ячейкой с гладкими стенками, в которой отсутствуют значительные гидродинамические возмущения. Целью настоящей работы была метрологическая оценка полученных размеров и формы при одновременной обработке серии одинаковых элементов. Эксперименты проводили на промышленном оборудовании. Осуществляли одновременную обработку 36 овальных элементов расположенных на заготовке по окружности диаметром 150 мм по схеме щелевой ячейки с радиальной подачей электролита от центра к периферии. Катод-инструмент представлял собой набор отдельных электродов, установленных заподлицо в оправке из изолирующего материала и прошлифованных для достижения плоскостности инструмента. Обработку осуществляли в нитратнохлоридном электролите, обеспечивающем хорошее качество обработанной поверхности. Определение геометрических характеристик осуществляли на координатно-измерительной машине TESA. Замеры выполняли в 5 точках по длине обработанного углубления. Во всех случаях непараллельность основания овального элемента относительно исходной поверхности не превышала 1,0-1,5 мкм, что соответствует требованиям чертежа. При средней достигнутой глубине всех обработанных участков 27 мкм стандартное отклонение не превышает 2 мкм, что также соответствует требуемым параметрам. Отмечено, что элементы с положительными или отрицательными отклонениями глубины от среднего значения группируются на определенных участках. Анализ технологической схемы позволяет предположить, что при определенных и явных преимуществами рассматриваемой технологии возможна достаточно высокая нестабильность размеров вследствие а) неравномерности величины межэлектродного зазора, б) неравномерности потока электролита. Проявление первого фактора может быть результатом неплоскостности и непараллельности заготовки и электрода-инструмента. Второй фактор проявляется как следствие первого, так и в результате неравномерного распределения давления в рабочей камере станка. Выполненные исследования показали, при одновременная обработка ряда сложных элементов деталей с малой глубиной возможна при использовании электрохимической обработки с неподвижными электродами и рационально организованной подачей электролита.