В докладе приводится обзор развития электрохимической размерной обработки (ЭХРО), основанной как на явлениях анодного растворения, так и катодного осаждения (на примере исследований, выполненных в Институте прикладной физики АНМ и инициированных академиком Б.Р.Лазаренко). Показано, что помимо специфики развития как процесса электрохимической технологии и технологии обработки металлов, ЭХРО имеет свою внутреннюю логику развития: определение специфики взаимосвязи между фундаментальными характеристиками кинетики электрохимического процесса и свойствами получаемой поверхности при переходе от макро- к микро- и нанообработке. Показано, что ответ на вопрос, поставленный в конце 60-х годов прошлого века: имеются какие-либо специфические особенности высокоскоростных электродных процессов, лежащих в основе ЭХРО, был получен на основе исследований, выполненных в ИПФ АНМ. Это явление взаимного влияния кинетики электродного процесса и процессов теплопереноса, проявляющиеся, в частности, в термокинетической неустойчивости (ТКН) электрохимического процесса. Обсуждаются эффекты влияния ТКН на скорость процесса удаления материала и его локализацию. Показана взаимосвязь между термокинетическими, электрохимическими и термофлуктационными процессами разрушения твердых тел. Рассмотрены особенности различных вариантов электрохимической размерной микрообработки: обработки тонкослойных покрытий в электролитах, используемых для ЭХРО, размерной (анодной) обработки с частичной изоляцией анодной поверхности изолирующими масками, электрохимической микрообработки с получением высоких безразмерных значений AR (aspect ratio). Показана взаимосвязь между кинетическими особенностями анодного растворения и качеством поверхности хромовых и кобальт-вольфрамовых упрочняющих покрытий. Рассмотрен эффект резкого снижения микротвердости поверхности после растворения в условиях ТКН. Исследованы условия влияния эффектов ионного массопереноса на микро- и макрораспределение скоростей травления, в том числе локализацию поверхности в условиях микрообработки при наличии изолирующих слоев на анодной поверхности. Рассмотрены эффекты взаимного влияния микро-и макрораспределения скоростей травления в условиях микрообработки при наличии изолирующих слоев. Показаны возможности импульсной электрохимической размерной микрообработки обработки как метода повышения локализации травления и уменьшения подтравливания под изоляцию. Представлены результаты исследований трех вариантов наноэлектрохимической размерной обработки: анодного травления полупроводниковых материалов на основе материалов А3В5 и кинетики заполнения пор в таких материалах, электрохимического темплатного синтеза с получением ансамбля нанопроводов (нанокомпозитов) и электрохимического (катодного) получения нанокристалличеких покрытий. Рассмотрены условия управления скоростями осаждения в нанопористые слои, полученные анодным травлением, а также непроводящие мембраны из Al2O3. Показаны возможности размерного электроосаждения использованием импульсных режимов с целью увеличения скорости осаждения. Установлено (на примере электрохимического импульсного темплатного синтеза), что применение импульсных режимов имеет ограничения, обусловленные коррозией наноматериала в период паузы, которая имеет размерный эффект. Обсуждаются проблемы получения нанокристаллических покрытий на основе сплавов металлов группы железа с тугоплавкими металлами в качестве альтернативы электролитическому хромированию поверхностей. Установлена взаимосвязь состава, структуры (степени “нанокристалличности”) механических и коррозионных (микро- и нанотвердости, износостойкости и коррозионной стойкости) свойств получаемых покрытий. Представлены результаты влияния термообработки на структуру получаемых слоев. Показана роль эффектов ионного массоперноса в формировании поверхности определенного состава и структуры, а также микро- и макрораспределения состава, структуры и свойств поверхности.