Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
976 0 |
Căutarea după subiecte similare conform CZU |
621.793.18 (2) |
Технология обработки без снятия стружки в целом: процессы, инструмент, оборудование и приспособления (145) |
SM ISO690:2012 GOLOSOV, Dmitrii, MELNIKOV, S, DOSTANKO, Anatolii. Расчет элементного состава тонкопленочных слоев при магнетронном распылении мозаичных мишеней. In: Электронная обработка материалов, 2012, nr. 1(48), pp. 63-72. ISSN 0013-5739. |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Электронная обработка материалов | ||||||
Numărul 1(48) / 2012 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718 | ||||||
|
||||||
CZU: 621.793.18 | ||||||
Pag. 63-72 | ||||||
|
||||||
Descarcă PDF | ||||||
Rezumat | ||||||
Предложена модель процесса магнетронного распыления, которая позволяет прогнозировать элементный состав нанесенных пленок при распылении мозаичных мишеней с произвольным расположением вставок для аксиальных магнетронных распылительных систем (МРС). Модель основана на интегрировании распыленного потока с каждой точки зоны распыления и учитывает коэффициенты распыления и электронно-ионной эмиссии материалов основы и вставок. Кривая распределения плотности тока разряда аппроксимируется с применением третьего центрального момента в распределении типа “сдвоенная гауссиана”, что дает возможность использовать реальные параметры зоны распыления и тока разряда магнетрона и с достаточной точностью математически описать распределение плотности ионного тока. Для верификации предложенной модели проведены экспериментальные исследования по нанесению тонкопленочных слоев методом магнетронного распыления Ti/Zr и Ti/Zr/Pb мозаичных мишеней. Анализ результатов моделирования показывает, что погрешность модели не превышает 10%. |
||||||
|