Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
574 8 |
Ultima descărcare din IBN: 2023-03-14 08:16 |
Căutarea după subiecte similare conform CZU |
621.365(075.6) (2) |
Electrotehnică (1154) |
SM ISO690:2012 ЛАНИН, В., ВАН ТУНГ, Фам, НЬЯН ДАТ, Чан. Лазерное формирование отверстий в неметаллических подложках. In: Электронная обработка материалов, 2020, nr. 1(56), pp. 76-83. ISSN 0013-5739. DOI: https://doi.org/10.5281/zenodo.3640390 |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Электронная обработка материалов | ||||||
Numărul 1(56) / 2020 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718 | ||||||
|
||||||
DOI:https://doi.org/10.5281/zenodo.3640390 | ||||||
CZU: 621.365(075.6) | ||||||
Pag. 76-83 | ||||||
|
||||||
Descarcă PDF | ||||||
Rezumat | ||||||
Предложено использование импульсного пикосекундного лазера с длиной волны 532 нм и частотой повторения 15 Гц для формирования отверстий диаметром до 0,1 мм в неметаллических подложках: кремнии, керамике и др. Моделированием в MathCAD и COMSOL Multiphysics установлено, что значение половинного угла раствора светового конуса, которое зависит от фокусировки лазерного излучения, оказывает значительное влияние на глубину и диаметр отверстий при лазерной обработке. Исследовано влияние режимов лазерной обработки наносекундным и пикосекундными лазерами с длинами волн 1064 и 532 нм на конусообразность и время формирования отверстий в кремниевых подложках. Предварительный нагрев подложки до 170–200ºС сокращает время выполнения отверстий на 20%. |
||||||
Cuvinte-cheie лазерное излучение, неметаллические подложки, кремний, отверстия, laser radiation, non-metallic substrates, Silicon, holes |
||||||
|