Formarea peliculelor de oxizi pe suprafaţa siliciului cu aplicarea plasmei descărcărilor electrice în impuls de acţiune indirectă
Închide
Articolul precedent
Articolul urmator
623 6
Ultima descărcare din IBN:
2023-10-11 10:52
Căutarea după subiecte
similare conform CZU
621.0.484.755 (2)
Construcția de mașini în general. Tehnică nucleară. Electrotehnică. Tehnologie mecanică (1715)
SM ISO690:2012
TOPALĂ, Pavel, MELNIC, Vasile, GUZGAN, Dorin. Formarea peliculelor de oxizi pe suprafaţa siliciului cu aplicarea plasmei descărcărilor electrice în impuls de acţiune indirectă. In: Inginerie agrară şi transport auto, 12-13 noiembrie 2015, Chișinău. Chișinău, Republica Moldova: Universitatea Agrară de Stat din Moldova, 2015, Vol.45, pp. 249-252. ISBN 978-9975-64-276-7.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Inginerie agrară şi transport auto
Vol.45, 2015
Simpozionul "Realizări şi perspective în inginerie agrară şi transport auto"
Chișinău, Moldova, 12-13 noiembrie 2015

Formarea peliculelor de oxizi pe suprafaţa siliciului cu aplicarea plasmei descărcărilor electrice în impuls de acţiune indirectă

CZU: 621.0.484.755

Pag. 249-252

Topală Pavel1, Melnic Vasile2, Guzgan Dorin1
 
1 Universitatea de Stat „Alecu Russo” din Bălţi,
2 Universitatea Tehnică a Moldovei
 
Disponibil în IBN: 22 martie 2019


Rezumat

Oxidation of semiconductor surface by means of electrical discharges in impulse in air has been realized under normal conditions. It is shown that the morphology of oxide films depends on the processing power. The quantity of oxygen absorbed by semiconductor surface depends on discharge frequency and number of discharges.

Cuvinte-cheie
oxidation, oxide films, surface, discharge

Crossref XML Export

<?xml version='1.0' encoding='utf-8'?>
<doi_batch version='4.3.7' xmlns='http://www.crossref.org/schema/4.3.7' xmlns:xsi='http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance' xsi:schemaLocation='http://www.crossref.org/schema/4.3.7 http://www.crossref.org/schema/deposit/crossref4.3.7.xsd'>
<head>
<doi_batch_id>ibn-74501</doi_batch_id>
<timestamp>1711636810</timestamp>
<depositor>
<depositor_name>Information Society Development Instiute, Republic of Moldova</depositor_name>
<email_address>idsi@asm.md</email_address>
</depositor>
</head>
<body>
<collection>
<collection_metadata>
<full_title>Inginerie agrară şi transport auto</full_title>
</collection_metadata>
<collection_issue>
<publication_date media_type='print'>
<year>2015</year>
</publication_date>
<isbn>978-9975-64-276-7</isbn>
</collection_issue>
<collection_article publication_type='full_text'><titles>
<title>Formarea peliculelor de oxizi pe suprafaţa siliciului cu aplicarea plasmei descărcărilor electrice &icirc;n impuls de acţiune indirectă</title>
</titles>
<contributors>
<person_name sequence='first' contributor_role='author'>
<given_name>Pavel</given_name>
<surname>Topală</surname>
</person_name>
<person_name sequence='additional' contributor_role='author'>
<given_name>Vasile</given_name>
<surname>Melnic</surname>
</person_name>
<person_name sequence='additional' contributor_role='author'>
<given_name>Dorin</given_name>
<surname>Guzgan</surname>
</person_name>
</contributors>
<publication_date media_type='print'>
<year>2015</year>
</publication_date>
<pages>
<first_page>249</first_page>
<last_page>252</last_page>
</pages>
</collection_article>
</collection>
</body>
</doi_batch>