Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2 + Ar
Închide
Conţinutul numărului revistei
Articolul precedent
Articolul urmator
498 0
SM ISO690:2012
ХОЛОДКОВ, И.. Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2 + Ar. In: Электронная обработка материалов, 2009, nr. 5(45), pp. 44-47. ISSN 0013-5739.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Электронная обработка материалов
Numărul 5(45) / 2009 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718

Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2 + Ar

Pag. 44-47

Холодков И.
 
Ивановский государственный химико-технологический университет
 
Disponibil în IBN: 5 aprilie 2017


Rezumat

The results of investigation of ion energy distribution in cathode region of direct current discharge in O2 Ar (0–100%) mixture are presented at different plasma parameters (1-3 Pa pressure, 10–30 mA discharge current). It is shown that Ar percentage more than 20% results to ion of Ar2 formation and shifting distribution maximum to higher energies.