Исследованы механические свойства и особенности деформирования поликристаллической меди и монокристаллического LiF при динамическом наномикроиндентировании. Установлена зависимость величины твердости и модуля Юнга от величины приложенной нагрузки (Рмакс), с ростом последней Н и Е уменьшаются. Выявлено наличие общих закономерностей, сопровождающих процесс внедрения индентора в широком интервале нагрузок: появление «pop-in» эффекта на начальной стадии процесса нагружения, возникновение дополнительных «pop-in» ступенек с ростом нагрузки, формирование навалов вокруг отпечатков. Подобный характер деформирования является результатом последовательной активации различных дислокационных механизмов по мере углубления индентора. Наряду с большим сходством в специфике деформирования отмечены и некоторые различия на стадии разгрузки. Полученные результаты предназначены для сравнения механических свойств отдельных компонент Cu и LiF с аналогичными параметрами композитных систем «слой/подложка» (КС Cu/LiF), созданных на их основе.