Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
702 20 |
Ultima descărcare din IBN: 2023-05-02 10:57 |
Căutarea după subiecte similare conform CZU |
621.316.728 (1) |
Electrotehnică (1146) |
SM ISO690:2012 BĂJENESCU, Titu-Marius. Reliability aspects of MEMS and RF Microswitches. In: Meridian Ingineresc, 2015, nr. 4, pp. 13-19. ISSN 1683-853X. |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Meridian Ingineresc | |||||
Numărul 4 / 2015 / ISSN 1683-853X | |||||
|
|||||
CZU: 621.316.728 | |||||
Pag. 13-19 | |||||
|
|||||
Descarcă PDF | |||||
Rezumat | |||||
Cum tehnologia MEMS este folosită în domenii din ce în ce mai multe, fiabilitatea dispozitivelor MEMS ridică probleme. Înțelegerea mecanismelor de defectare este o condiție prealabilă pentru cuantificarea și îmbunătățirea dispozitivelor MEMS. Articolul trece în revistă mecanismele comune de defectare ale MEMS și scoate îm evidență câteva din obiectivele fiabiliste ale comutatoarelor MEMS ohmice și capacitive. Comutatoarele ohmice se defectează catastrofal datorită sticțiunii, în timp ce sarcinile dielectrice conduc la degradarea performanțelor comutatoarelor capacitive. |
|||||
|