Senzori d presiune în bază de Aero-GaN
Close
Articolul precedent
Articolul urmator
518 7
Ultima descărcare din IBN:
2023-10-15 14:38
SM ISO690:2012
CIOBANU, Vladimir. Senzori d presiune în bază de Aero-GaN. In: Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor, 26-29 martie 2019, Chișinău. Chișinău, Republica Moldova: 2019, Vol.1, pp. 370-372. ISBN 978-9975-45-588-6.
EXPORT metadate:
Google Scholar
Crossref
CERIF

DataCite
Dublin Core
Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor
Vol.1, 2019
Conferința "Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor"
Chișinău, Moldova, 26-29 martie 2019

Senzori d presiune în bază de Aero-GaN


Pag. 370-372

Ciobanu Vladimir
 
Universitatea Tehnică a Moldovei
 
 
Disponibil în IBN: 26 septembrie 2019


Rezumat

Au fost elaborați și caracterizați senzori de presiune în baza aero-materialului ultraporos de GaN. Aeromaterialul este obținut prin creșterea epitaxială din fază hidridă de vapori a unui strat de câteva zeci de nanometri de nitrură de galiu pe o rețea interpenetrată de tetrapozi din oxid de zinc. În timpul procesului de creștere substratul de ZnO este descompus, obținând în final o rețea interpenetrată de microtuburi de GaN, sensibilitatea cărora a fost caracterizată la presiune hidrostatică. Sensibilitatea senzorilor în bază de Aero-GaN până la 40 atm oferă posibilitatea utilizării acestora într-o gamă largă de aplicații, cum ar fi în domeniul auto, aerospațial, submarine și altele. Nivelul de răspuns al curentului de ordinul zecilor de mA permit ca acești senzori să fie ușor de folosit în echipamente portabile.

Cuvinte-cheie
nitrura de galiu, senzori de presiune ultra-ușori, aeromaterial, creștere HVPE