In this paper, Radio Frequency magnetron sputtering is described as a cost-effective and rapid method for obtaining new nanomaterials (semiconductors, metal, metal oxides etc.). Various 1D–3D nanostructures with a high crystallinity are prepared and used to fabricate gas and pressure sensors based on them.

În lucrare este prezentată metoda depunerii RF magnetron ca o metodă cost-efectivă și rapidă de obținere a nanomaterialelor noi (semiconductoare, metalice, metal oxidice s.a.). Au fost preparate diferite nanostructuri 1D-3D cu o cristalinitate înaltă, în baza cărora au fost obținuți senzori de gaze și de presiune.