Conţinutul numărului revistei |
Articolul precedent |
Articolul urmator |
1117 15 |
Ultima descărcare din IBN: 2024-04-22 13:40 |
SM ISO690:2012 МЕШАЛКИН, А.Ю., АНДРИЕШ, Ион, AБАШКИН, В., PRISACAR, Alexandr, TRIDUH, Ghennadi, АКИМОВА, Елена, ENACHI, Mihail. Цифровой метод измерения толщины нанометровых
пленок на базе микроинтерферометра МИИ-4. In: Электронная обработка материалов, 2012, nr. 6(48), pp. 114-118. ISSN 0013-5739. |
EXPORT metadate: Google Scholar Crossref CERIF DataCite Dublin Core |
Электронная обработка материалов | ||||||
Numărul 6(48) / 2012 / ISSN 0013-5739 /ISSNe 2345-1718 | ||||||
|
||||||
Pag. 114-118 | ||||||
|
||||||
Descarcă PDF | ||||||
Rezumat | ||||||
Используя цифровую обработку результатов измерений, расширены измерительные возможности микроинтерферометра МИИ-4 на область нанометровой толщины пленок. Модернизированный микроинтерферо-
метр с адаптированной веб-камерой для регистрации интерференционных картин, а также разработанное программное обеспечение Optic Meter позволяют не только определять толщину нанометрового диапазона, но и существенно уменьшить при этом погрешность измерений. Цифровая обработка интерферограмм с помощью программного обеспечения Optic Meter дает возможность измерять толщину до 20 нм с разрешающей способностью 5 нм, чего практически нельзя достичь, применяя визуальный метод измерения. Сравнение результатов, полученных с помощью атомноиловой микроскопии и модернизированного интерферометра, показало различие в значениях в 2 нм, что подтверждает правомерность предлагаемого метода. |
||||||
|